羅茨泵為什么不能單獨使用呢？單獨開羅茨泵電源會跳閘，如JZJ羅茨泵機組，羅茨泵做主泵，2x旋片泵作為前級泵，串聯(lián)使用，開機順序是先開旋片式真空泵，當(dāng)旋片真空泵真空度到達(dá)極限時再開啟羅茨泵電源，這樣設(shè)備才能正常運轉(zhuǎn)，如果前級泵沒有提供足夠的負(fù)壓就開啟羅茨泵會造成羅茨泵超電流跳閘。

常見羅茨泵機組結(jié)構(gòu)如圖所示：

開機順序為：開冷卻水--開前級泵--開低真空閥--開高真空閥--開羅茨泵

停機順序為：關(guān)高真空閥--關(guān)羅茨泵--關(guān)低真空閥--關(guān)前級泵--關(guān)冷卻水





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